[发明专利]一种微尺度火工品发火温度测量装置有效
| 申请号： | 201911085382.1 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110726490B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;张一中;王馨晨;赵玉龙;张国栋;刘元;张蕊;平川 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18;B81B7/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种微尺度火工品发火温度测量装置，包括单晶硅基底，单晶硅基底上生长一层二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上通过MEMS工艺溅射铂微结构换能元及与铂微结构换能元连接的第一电极，第一电极作为铂微结构换能元的电压输入端；同时在铂微结构换能元中间利用MEMS工艺溅射铂温度敏感元件，铂温度敏感元件和第二电极连接，铂温度敏感元件的输入端和输出端分别连接两个第二电极形成四线制测量法；本发明将成熟的MEMS加工工艺与铂材料电阻温度特性进行相结合，具有敏感元件尺寸小、线性度好、测量精度高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 火工品 发火 温度 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微尺度火工品发火温度测量装置，包括单晶硅基底(1)，其特征在于：单晶硅基底(1)上生长一层二氧化硅绝缘层(2)，二氧化硅绝缘层(2)上通过MEMS工艺溅射铂微结构换能元(3-1)及与铂微结构换能元(3-1)连接的第一电极(3-2)，第一电极(3-2)作为铂微结构换能元(3-1)的电压输入端；同时在铂微结构换能元(3-1)中间利用MEMS工艺溅射铂温度敏感元件(4-1)，铂温度敏感元件(4-1)和第二电极(4-2)连接，铂温度敏感元件(4-1)的输入端和输出端分别连接两个第二电极(4-2)形成四线制测量法。/n
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