[发明专利]位移测量设备及其位移测量方法和存储介质在审
| 申请号： | 201911087157.1 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN111175776A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 藤原馨 | 申请（专利权）人： | 株式会社基恩士 |
| 主分类号： | G01S17/48 | 分类号： | G01S17/48;G01S7/48;G01S7/481;G01S7/51 |
| 代理公司： | 北京格罗巴尔知识产权代理事务所(普通合伙) 11406 | 代理人： | 孙德崇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种位移测量设备及其位移测量方法和存储介质。即使在测量对象的位置或姿势改变的情况下，也能够在短时间内测量测量对象的预定位置的位移。在位移测量设备的操作期间，通过使用位置校正信息来确定测量对象的位置和姿势，并且对测量位置进行校正。利用测量光来照射校正后的测量位置。发射到测量位置并从测量位置反射回的测量光由受光器接收。受光器输出位移测量所用的受光量分布，并且基于该受光量分布来测量测量位置的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 测量 设备 及其 测量方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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