[发明专利]多桥路隧道磁阻双轴加速度计有效
| 申请号： | 201911088785.1 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110780088B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;李孟委;宫美梅;金丽;辛晨光 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/105 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多桥路隧道磁阻双轴加速度计，包括支撑框架一、支撑框架二、X轴质量块、Y轴质量块、X轴隧道磁阻元件、Y轴隧道磁阻元件、X轴回折线圈、Y轴回折线圈，X轴质量块上固定设置相互正交的X轴回折线圈和Y轴回折线圈；X轴回折线圈的两端以及Y轴回折线圈的两端分别通过导线与支撑框架一上的相应电极连接；支撑框架二上固定设置X轴隧道磁阻元件和Y轴隧道磁阻元件；X轴隧道磁阻元件位于X轴回折线圈的正上方；Y轴隧道磁阻元件位于Y轴回折线圈的正上方，隧道磁阻元件内部设置多桥路结构。本发明提出的基于多桥路隧道磁阻的双轴MEMS加速度计极大提高了加速度计的极限检测能力和检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 多桥路 隧道 磁阻 加速度计 | ||
【主权项】：
1.多桥路隧道磁阻双轴加速度计，其特征在于，包括固定连接的支撑框架一和支撑框架二；/n支撑框架一上设置X轴质量块和Y轴质量块；Y轴质量块通过若干个具有弹性形变能力的Y轴检测梁与支撑框架一连接；X轴质量块通过若干个具有弹性形变能力的X轴检测梁与Y轴质量块连接；/nX轴质量块上固定设置相互正交的X轴回折线圈和Y轴回折线圈；X轴回折线圈的两端以及Y轴回折线圈的两端分别通过导线与支撑框架一上的相应电极连接；/n支撑框架二上固定设置X轴隧道磁阻元件和Y轴隧道磁阻元件；X轴隧道磁阻元件位于X轴回折线圈的正上方；Y轴隧道磁阻元件位于Y轴回折线圈的正上方；/nX轴隧道磁阻元件的内部多桥路结构包括检测点A、B以及磁阻R
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