[发明专利]一种精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构

摘要

本发明提供一种精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构，能够将坩埚移送至各检测工位并精确取、放置于坩埚托盘，减少因传动间隙导致的定位误差。该坩埚移送机构将旋臂主轴分为上半轴和下半轴，其中上半轴由空心轴和与空心轴配套的芯轴组合而成。芯轴外表面与空心轴内表面紧密动配合，使当空心轴做旋转运动时能够带动芯轴同步转动，当空心轴沿做升降运动时，芯轴不动，使空心轴相对芯轴做升降运动。芯轴的上端伸出空心轴后通过联轴器与所述编码器相连，由此通过悬臂的旋转与升降组合运动，实现精确的移送和取、放置坩埚动作，使因定位偏差导致的碰撞以及由此而引发的机械损坏、电机烧毁等次生故障概率大为减少，提高了整个检测仪器的可靠性。