[发明专利]一种溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法在审
| 申请号： | 201911092413.6 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112775619A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 姜楠;姜宏金 | 申请（专利权）人： | 太原市精微测控技术有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B23H5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 030006 山西省太原市*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法，包括如下步骤：（1）将非晶态合金材料铸造成形，得到弹性膜片；（2）所述弹性膜片包括平板形状的受压部和圆柱状的支撑部，所述弹性膜片受压部的厚度包含预留加工厚度；（3）根据具体使用需求将所述弹性膜片的受压部加工至指定厚度；（4）将加工完成的弹性膜片的受压部进行精密磨削，精密磨削结束后再进行精密抛光。本发明所提供的溅射薄膜压力传感器弹性膜片加工方法采用外部顶端切割形成受压部，可以将弹性膜片制作的更薄，可以向微压方向进一步扩展量程，并且大大提高工效，提高性能，残余应力小，提高传感器测量精度，延长弹性膜片使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 薄膜 压力传感器 弹性 膜片 加工 方法 | ||
【主权项】：
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