[发明专利]基板残材侦测方法及基板残材侦测装置有效

专利信息
申请号: 201911092669.7 申请日: 2019-11-11
公开(公告)号: CN110885181B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 李世龙 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: C03B33/023 分类号: C03B33/023;G01V8/10
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 张晓薇
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本揭示提供了一种基板残材侦测方法及基板残材侦测装置。所述基板残材侦测方法包括下列步骤:在基板切割装置上安装传感器于所述基板切割装置的切割部、设置基板残材检测软件于所述基板切割装置、利用所述切割部将基板自基板玻璃中分离、及利用所述切割部切割基板分离步骤中所产生的基板残材。其中,利用所述传感器侦测所述基板残材是否掉落,并透过所述基板残材检测软件于掉落状态异常时启动警报,其可更精准地判断基板残材的掉落是否异常,藉此提前预防基板切割品质产生异常以提升良率。
搜索关键词: 基板残材 侦测 方法 装置
【主权项】:
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