[发明专利]一种柔性透明导电薄膜制备方法有效

专利信息
申请号: 201911093395.3 申请日: 2019-11-11
公开(公告)号: CN110942863B 公开(公告)日: 2021-04-27
发明(设计)人: 罗钰;宁田泽;裴跃琛;王莉;卢秉恒 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00;H01B5/14;B82Y40/00
代理公司: 北京市诚辉律师事务所 11430 代理人: 范盈
地址: 710049 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 现有的一些图形化工艺方法都存在一些问题,不能很好的满足要求。本申请提供了一种柔性透明导电薄膜制备方法,包括:(1)在柔性衬底上依次制备纳米线导电薄膜层及水溶性聚合物薄膜层;(2)通过电雾化水系溶剂在所述聚合物薄膜表面沉积微纳尺度水滴,利用聚合物的水溶性刻蚀出网格图案结构,刻蚀至导电纳米线层完全暴露形成网格化聚合物薄膜;(3)以所述网格化聚合物薄膜为掩膜层对纳米线导电薄膜层进行氧等离子体处理,并去除未被掩蔽的纳米线导电薄膜;(4)利用去离子水去除残留的聚合物薄膜,干燥,得到柔性透明导电薄膜。采用了电雾化工艺,制备聚合物层作为掩蔽层,并且在纳米线导电薄膜制备过程中起到掩膜保护的作用。
搜索关键词: 一种 柔性 透明 导电 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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