[发明专利]用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法在审
| 申请号： | 201911094754.7 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN111243928A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | L.图玛 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;G01N23/04;G01N23/046;G01N23/207;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种确定带电粒子显微镜的像差的方法。所述方法包括提供带电粒子显微镜的步骤，所述带电粒子显微镜至少部分地可由用户操作。然后，用所述带电粒子显微镜获得图像数据集合。处理图像数据以确定所述带电粒子显微镜的像差。根据本发明，所述图像数据集合由用户主动获得。具体地说，所述图像数据可以在显微镜由用户正常操作期间获得，所述正常操作可以包含显微镜导航和/或聚焦。因此，图像数据集合由所述用户采集，而不由所述显微镜的控制器采集。这允许后台处理像差和使用所述带电粒子显微镜期间的像差校正。本发明还涉及一种并入所述方法的带电粒子显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 标本 带电 粒子 显微镜 确定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司，未经FEI公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911094754.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
