[发明专利]一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 201911095714.4 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112787613A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张春燕 | 申请（专利权）人： | 上海珏芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/15 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201204 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法，其中薄膜压电声波谐振器包括：从上至下依次叠层的第一电极、压电感应振荡片和第二电极；第一电极、压电感应振荡片和第二电极在垂直于压电感应振荡片表面的方向上设有重叠的区域；在重叠的区域内，压电感应振荡片与第一电极之间设有第一间隙；和/或，压电感应振荡片与第二电极之间设有第二间隙。本发明的有益效果在于，解决了压电感应振荡片和上下电极接触界面存在残余应力和声波从电极中泄露的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压电 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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