[发明专利]一种边缘研磨设备在审
| 申请号： | 201911099895.8 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110802502A | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王强 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B9/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种边缘研磨设备，所述边缘研磨设备具有一横向的轴线，所述边缘研磨设备包括：多个承载件，所述多个承载件位于同一纵向平面内，且环绕所述轴线设置，所述多个承载件用于承载待研磨晶圆，以使所述待研磨晶圆的中轴线沿所述轴线的方向设置，所述多个承载件中的至少一个还用于驱动所述待研磨晶圆绕自身的中轴线旋转；研磨组件，环绕所述轴线设置，所述研磨组件用于在所述待研磨晶圆旋转时，研磨所述待研磨晶圆的边缘。这样，本发明实施例中，通过设置承载件承载晶圆，使待研磨晶圆的轴线横向设置，这样，在研磨过程中不需要使用吸盘固定待研磨晶圆，避免了在待研磨晶圆表面产生吸附痕迹，有助于提高晶圆的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 研磨 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司，未经西安奕斯伟硅片技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911099895.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
