[发明专利]等离子体处理装置和环部件的形状测量方法在审
| 申请号： | 201911100050.6 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN111192811A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 尾形敦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;G01B21/20;G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子体处理装置和环部件的形状测量方法。载置台具有用于依次载置多个治具的第一载置面和用于载置环部件的第二载置面。多个治具分别具有与环部件的上表面相对的相对部，该相对部在环部件的径向上的位置相互不同。获取部获取间隔信息，该间隔信息表示第二载置面与载置于第一载置面的多个治具各自的相对部的间隔尺寸。测量部在多个治具分别载置于第一载置面的状态下使环部件上升，在环部件的上表面与相对部接触的情况下，测量从第二载置面起的环部件的上升距离。厚度计算部基于由间隔信息表示的间隔尺寸和环部件的上升距离，计算在环部件的径向上的多个位置中的各个位置的环部件的厚度。由此，本发明能够适当地测量环部件的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 部件 形状 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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