[发明专利]一种多晶硅生产中聚氯硅烷处理装置有效
申请号: | 201911101620.3 | 申请日: | 2019-11-12 |
公开(公告)号: | CN110627071B | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 李斌;罗周;向春林;宋垒 | 申请(专利权)人: | 四川永祥新能源有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵焕 |
地址: | 614800 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅生产中聚氯硅烷废料的处理装置,包括:裂解罐,裂解罐具有聚氯硅烷废料进口和氯化氢进口,聚氯硅烷废料进口供聚氯硅烷废料进入,氯化氢进口供氯化氢进入;蒸发罐,蒸发罐的进口与裂解罐的出口连通;三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐,蒸发罐的出口与三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐连通。在本发明中,裂解罐中设置有树脂,聚氯硅烷废料和氯化氢在树脂的催化作用下发生化学反应,生产三氯氢硅及四氯化硅。反应物进入到蒸发罐中,在蒸发罐的蒸发作用下,三氯氢硅和四氯化硅分离,并分别进入到三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐中。本发明中的处理装置能够回收聚氯硅烷废料中的氯硅烷,从而节约了能源,减少了排放量。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 生产 中聚氯 硅烷 处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅生产中聚氯硅烷废料的处理装置,其特征在于,包括:/n裂解罐,所述裂解罐具有聚氯硅烷废料进口和氯化氢进口,所述聚氯硅烷废料进口供聚氯硅烷废料进入,所述氯化氢进口供氯化氢进入;/n蒸发罐(1),所述蒸发罐(1)的进口与所述裂解罐的出口连通;/n三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐,所述蒸发罐(1)的出口与所述三氯硅烷收集罐和所述四氯硅烷收集罐连通。/n
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