[发明专利]一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源

摘要

本发明公开了一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，包括平板、支撑脚、加固条、保护箱、铰链、箱门、透明玻璃窗、搭扣锁、电动推杆、固定罩、保温箱、金属保护层、石棉保温层、出气孔、进气管、阀门、MOCVD加热器、反应箱体、箱盖、空腔矩形板、出气孔、基片载板、连接杆、直管、金属导热箱、导热连接条、第一隔板、第二隔板、连接管、鹅颈管、软管和插管。本发明结构合理，可为进入的气体进行快速预热，预热时，通过气流路径延长结构增加了气体在金属导热箱中的流动路径，增加了气体的停留时间，提高了气体的温度，从而提高了反应效率，气体进入反应箱体中，减少热量的吸收，避免影响反应效率。

主权项

1.一种具有快速预热功能的MOCVD加热器源，其特征在于：包括支撑架、保护箱(4)以及保温箱(11)，所述保护箱(4)和保温箱(11)均固定安装在支撑架的顶部，所述保护箱(4)上安装有升降盖板，所述支撑架的顶部固定嵌合安装有MOCVD加热器(15)，所述保护箱(4)底部设置有反应箱体(16)，且反应箱体(16)与支撑架固接，所述MOCVD加热器(15)贯穿反应箱体(16)底部，所述升降盖板位于反应箱体(16)顶部，所述升降盖板的底部安装有空腔矩形板(18)，所述空腔矩形板(18)的底部设置有若干个出气孔(12)，所述空腔矩形板(18)底部通过连接杆(21)连接有基片载板(20)；/n所述保温箱(11)的内部设置有金属导热箱(23)，且金属导热箱(23)与保温箱(11)之间形成保温腔，所述保温腔的内部均匀设置有若干个导热连接条(24)，且导热连接条(24)的两端分别与金属导热箱(23)以及保温箱(11)固接，所述保温箱(11)的顶部开有排气孔(19)；/n所述金属导热箱(23)的一侧顶部固定连通有若干个插管(28)，所述插管(28)贯穿保温箱(11)，且插管(28)末端通过连接管(27)与空腔矩形板(18)顶部连通；/n所述反应箱体(16)的一侧通过直管(22)与保温腔的一侧连通，所述金属导热箱(23)底部固定连通有进气管(13)，且进气管(13)贯穿保温箱(11)底部以及支撑架顶部，所述进气管(13)的底端安装有阀门(14)，所述金属导热箱(23)内部从下到上设置有气流路径延长结构。/n