[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示面板在审
| 申请号： | 201911104937.2 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110911458A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 王俊;任章淳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板，本发明通过半色调掩膜工艺制备形成导电层，其中所述导电层包括：第一导电层以及第二导电层。其中所述第一导电层覆于所述通孔中的有源层上，并沿所述通孔的孔壁延伸至所述平坦层的表面上；所述第二导电层设于所述第一导电层上。由此可以将所述源漏极层与所述像素电极采用同一道光罩进行蚀刻，进而节省光罩次数，简化制备步骤，提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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