[发明专利]用于ARC镀膜生产线的基片架

摘要

本发明提供了用于ARC镀膜生产线的基片架，用于装载待镀膜的基片，所述基片架在镀膜生产线上运行，包括基片架本体、框架组件和盖板组件，框架组件连接基片架本体的各侧边，基片架本体上设有基片区，基片区包括彼此独立的第一基片区、第二基片区和第三基片区，盖板组件包括第一盖板、第二盖板和第三盖板，第一盖板、第二盖板和第三盖板分别可拆卸的盖合在第一基片区、第二基片区和第三基片区上。本发明所述基片架可装载多种和多个基片，基片架分为多个基片区域，每个基片区域对应配有相应盖板，所述盖板可拆卸的覆盖在对应的基片区域，以分区利用各个基片区域，且防止各基片区域受到污染，框架组件保护基片架本体且稳定承重。