[发明专利]一种MOCVD加热器源及其操作方法

摘要

本发明公开了一种MOCVD加热器源及其操作方法，包括安装板、固定条、固定管、电磁铁、导向环、活动铁杆、第一弹簧、第二弹簧、固定套、嵌合柱、承载板、MOCVD加热器、保温罩金属外壳、石棉填充层、高导热陶瓷片、第一导热凸起、金属导热罩、第二导热凸起、顶盖、排气扇、铰链、螺纹环、活性炭过滤网、直杆、固定球块和搭扣锁。本发明通过两个平行设置的安装结构可便于MOCVD加热器源进行安装以及拆卸，从而便于进行维护和维修以及更换，避免损坏后，更换时间过长，而延长加热的时长；通过导热结构的设置可进行热量的传导，传导的温度较均匀，可对金属导热罩的内部进行均匀加热，加热效果较好，从而避免出现受热不均的现象。

主权项

1.一种带有导热热利用结构的MOCVD加热器源，其特征在于：包括安装板(1)、承载板(11)以及固定安装在承载板(11)顶部的MOCVD加热器(12)，所述安装板(1)和承载板(11)之间设置有两个平行设置的安装结构；/n所述MOCVD加热器(12)的顶部设置有导热结构，所述导热结构和MOCVD加热器(12)套接有保温罩(13)；/n所述保温罩(13)顶部设置有可翻转的顶盖(16)，所述顶盖(16)的一侧通过铰链(18)与保温罩(13)顶部一侧连接，所述顶盖(16)与保温罩(13)之间安装有若干个搭扣锁(23)，所述顶盖(16)设置有排气结构，所述排气结构顶部设置有过滤结构，所述过滤结构上安装有把手。/n