[发明专利]集成式倍增检测装置在审
| 申请号： | 201911107862.3 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110828277A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 薛兵;丁宇红;姜健;任维松;唐朝阳;沈辉 | 申请（专利权）人： | 上海裕达实业有限公司 |
| 主分类号： | H01J43/06 | 分类号： | H01J43/06;H01J43/20;H01J49/26 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 200245 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种集成式倍增检测装置，包括：电子倍增打拿极、信号电子收集极、盖板部件以及电压分配元器件；所述盖板部件包括：印刷电路单元；所述电子倍增打拿极、信号电子收集极设置于盖板部件面向真空的一侧；所述电压分配元器件设置于盖板部件面向真空一侧相对应的另一侧；所述电压分配元器件设置于印刷电路单元上。本发明能够在真空系统中，实现多次倍增放大微小离子流的问题。本发明能够让在真空中进行电子倍增的器件和其它放大器件集成在同一个印刷电路板的两面上；本发明突破现有技术中的缺陷，使用方便，且性价比较高。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 倍增 检测 装置 | ||
【主权项】：
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