[发明专利]一种分级势垒低暗电流台面型光电二极管及其制作方法

摘要

本发明属于探测器芯片制造技术领域，涉及一种分级势垒低暗电流台面型光电二极管；台面型光电二极管从上至下叠次连接的N型台面、吸收台面以及P型台面；每个台面的表面覆盖钝化层；在台面型光电二极管的吸收台面中设置有分级势垒层，分级势垒层从上到下共九层结构；所述N型台面上设置有N电极，所述的P型台面上设置有P电极，P电极与N电极形成共平面电极；本发明通过采用分级势垒结构，降低了台面型光电二极管的表面漏电流和体暗电流，从而提高了台面型光电二极管的可靠性。