[发明专利]一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置在审
申请号: | 201911111805.2 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN110676147A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 郭新勇;张康;杨艳娜;李盛 | 申请(专利权)人: | 河南河大科技发展有限公司 |
主分类号: | H01J37/09 | 分类号: | H01J37/09;H01J37/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 475000 河南省开*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片设计。本发明包括:光阑片材质(1),光阑片形状(2),光阑孔(3)。本发明适用于透射电子显微镜的聚光镜、物镜和投影镜中的可动光阑。光阑是电镜重要的成像部件之一,其主要作用是通过调节通过光束大小,获得明场像和暗场像,降低噪声干扰、降低球差、提高成像衬度。光阑的性能指标主要由光阑片决定,包括:光阑片材质、光阑片形状、光阑孔数量、光阑孔尺寸、可移动(倾转)范围、移动精度等。本发明使用Ni‑Si青铜系合金加工成透射电子显微镜可动光阑光阑片,具有易于加工、无磁性、耐电子束轰击、延展性和韧性适中、耐腐蚀、成本低廉等特点。 | ||
搜索关键词: | 光阑片 光阑 透射电子显微镜 光阑孔 可动 延展性 电子束轰击 青铜系合金 成像部件 降低噪声 暗场像 聚光镜 可移动 明场像 耐腐蚀 投影镜 无磁性 衬度 倾转 球差 物镜 成像 加工 移动 | ||
【主权项】:
1.一种透射电子显微镜可动光阑的光阑片装置,该装置包括:光阑片材质(1),光阑片形状(2),光阑孔(3)。/n
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