[发明专利]一种旋转靶材冷绑定工艺在审
| 申请号： | 201911113968.4 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110846627A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 张俊杰 | 申请（专利权）人： | 张俊杰 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 杜立军 |
| 地址： | 071051 河北省保定市竞秀区*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种旋转靶材冷绑定工艺，属于靶材技术领域。所述旋转靶材冷绑定工艺，包括以下步骤：将外管靶材套在背管上；将粘接剂压注到外管靶材和内管的间隙中；待粘接剂凝固后即完成绑定。本发明的冷绑定工艺能够有效地将间隙中的空气挤压出来，使得外管靶材与背管的粘接面积可以达到100％，从而两管之间不会产生空穴，溅射过程中有效避免了裂靶及掉靶现象。绑定时无需加热，因而背管不会产生膨胀现象，所以背管可以采用304不锈钢管，具有成本低的优点。本发明的绑定工艺可以绑定任何材料的靶材、任何规格以及任何单节长度(200mm‑2000mm)的旋转靶材。具有操作简单，成本低，节能环保，成品合格率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 靶材冷 绑定 工艺 | ||
【主权项】：
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