[发明专利]一种真空紫外光探测器的光谱响应标定系统及测试方法在审
| 申请号： | 201911121215.8 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110967111A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 郑伟;林日成;贾乐敏;黄丰 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 赵崇杨 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空紫外光探测器的光谱响应标定系统及测试方法，所述真空紫外光探测器的光谱响应标定系统由紫外光源、深紫外单色仪、探针台、静电计组成；紫外光源、单色仪和探针台置于真空或氮气环境中，紫外光源通过单色仪向探针台上的待测样品器件提供紫外光源辐射；探针的正负极分别与静电计的输入端相连，静电计与单色仪的输出端分别与测试系统的输入端相连。本发明的标定系统能够准确地测量各类真空紫外光电器件的光谱响应，利用标准硅探测器作为传输标准，测试系统操作简单方便，具有较大的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 紫外光 探测器 光谱 响应 标定 系统 测试 方法 | ||
【主权项】：
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