[发明专利]振动机构及槽式清洗机在审
| 申请号： | 201911128069.1 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110918545A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 林欣家;滕宇;赵曾男 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了振动机构及槽式清洗机。该振动机构包括依次连接的电机组件、轴承组件、凸轮组件、直线运动组件和振动臂组件，所述电机组件、所述轴承组件和所述振动臂组件均安装在所述直线运动组件上，所述凸轮组件安装在所述轴承组件上，所述电机组件输出动力，所述轴承组件将所述电机组件输出的动力传递给所述凸轮组件以驱动所述凸轮组件旋转，所述直线运动组件包括凸轮随动器，所述凸轮随动器置于所述凸轮组件上表面并在凸轮组件驱动下进行往复直线运动，进而带动振动臂组件振动。该振动机构整体结构紧凑占用空间小，此外组件功能划分清晰、连接关系简单，便于安装维护和调试。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 机构 清洗 | ||
【主权项】：
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