[发明专利]晶圆的清洗组件、清洗设备及清洗方法有效
| 申请号： | 201911128954.X | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110813864B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 白靖宇 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李洋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种晶圆的清洗组件、清洗设备及清洗方法。该清洗组件包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；移动轨道，以竖直方向间隔设置于所述晶圆放置位的至少一侧；至少第一喷头，设置于所述移动轨道上并能够沿所述移动轨道移动，用于朝向所述晶圆的方向喷出清洗液体。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 组件 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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