[发明专利]带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线在审
申请号: | 201911131133.1 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN110670039A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 广东腾胜科技创新有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/14;H01F41/18 |
代理公司: | 44245 广州市华学知识产权代理有限公司 | 代理人: | 官国鹏 |
地址: | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线,包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室,安装在镀膜室的运动机构和动力装置;镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室;平面阴极包括磁板,安装在磁板上的多个磁钢,位于磁钢下方的靶材;动力装置的输出端连接在运动机构上,运动机构的输出端连接在磁板上。磁材镀膜生产线大幅提高靶材利用率,既降低稀有材料的消耗,也实现高性能、低成本的产业化应用,属于真空镀膜设备技术领域。 | ||
搜索关键词: | 磁板 运动机构 镀膜室 磁材 镀膜生产线 输出端连接 低真空室 动力装置 高真空室 平面阴极 磁钢 真空镀膜设备 靶材利用率 产业化应用 运行路径 带运动 低成本 靶材 消耗 | ||
【主权项】:
1.带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线,其特征在于:包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室,安装在镀膜室的运动机构和动力装置;镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室;平面阴极包括磁板,安装在磁板上的多个磁钢,位于磁钢下方的靶材;动力装置的输出端连接在运动机构上,运动机构的输出端连接在磁板上。/n
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