[发明专利]一种基于poket结构的TFET器件在审
申请号: | 201911131629.9 | 申请日: | 2019-11-18 |
公开(公告)号: | CN111129136A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 胡建平;柯声伟 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06 |
代理公司: | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人: | 方小惠 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于poket结构的TFET器件,包括衬底、晶化层、两个栅极、源极、漏极、两个栅介质层、硅基沟道和口袋,衬底、晶化层、两个栅极、源极、漏极、两个栅介质层、硅基沟道和口袋分别为长方体结构,晶化层固定设置在衬底上,晶化层的下端面与衬底的上端面贴合,源极、口袋、硅基沟道和漏极按照从左到右的顺序排布在晶化层上,第一栅介质层位于硅基沟道和口袋的前侧,第一栅极位于第一栅介质层的前侧,第二栅介质层位于硅基沟道和口袋的后侧,第二栅极位于第二栅介质层的后侧;优点是具有较大的导通电流,在集成电路设计领域应用时,采用较少的数量即可实现集成电路的大驱动电流,从而可以减小集成电路的面积和功耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 poket 结构 tfet 器件 | ||
【主权项】:
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