[发明专利]一种基板并盒装置及并盒控制系统与方法

摘要

本发明公开了一种基板并盒装置及并盒控制系统与方法，其中基板并盒装置包括出入料机构、插拔基板机构和基板缓存机构；出入料机构设有入料区和出料区，分别设有若干弹夹；插拔基板机构包括伺服X轴、伺服Y轴、伺服Z轴、基板插拔爪、基板中转治具以及CCD；XYZ三轴机构可实现基板插拔定位，基板中转治具位于基板插拔爪下方，CCD位于基板中转治具上方；基板缓存机构包括异常料升降轴、缓存平台以及非接触式吸盘，非接触式吸盘可沿异常料升降轴上下移动。使用本发明的基板并盒装置，可以有效减少人员工作强度、节约人工，并且具备基板不易变形、不易折损、防错防呆、无污渍和效率高等优点。