[发明专利]质谱仪气压调节系统及方法有效
| 申请号： | 201911135086.8 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111128671B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 欧阳证;李柠汐;刘新玮;焦斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 蔡丽 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种质谱仪气压调节系统及方法，该系统包括：真空腔、进样系统、真空抽气系统和气压调节系统。其中，真空腔与进样系统、真空抽气系统和气压调节系统连接，用于提供真空环境；进样系统，用于实现质谱仪的离子进样；真空抽气系统通常包括两级抽气泵，用于使真空腔内部维持真空状态，前级将大气压降到后级的工作气压；气压调节系统包括两种气压调节方式，一种从两级抽气泵中间气压管对真空腔进行气压调节，另一种直接从外界环境对真空腔进行气压调节。该系统通过两种方式的独立或组合工作调控气压，实现两种适用于不同场合的灵活、稳定的气压调节方式。在质谱仪进行物质检测时，该系统为质谱仪进行物质分析的每个阶段提供最佳气压条件。 | ||
| 搜索关键词： | 质谱仪 气压 调节 系统 方法 | ||
【主权项】：
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