[发明专利]一种批量化高品质因子硫系悬空微盘制备方法有效
| 申请号： | 201911135771.0 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111103740B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 张斌;宋景翠;李朝晖;潘竞顺;朱莺;曾平羊;杨泽林;夏迪 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02F1/35 | 分类号： | G02F1/35;G03F7/00;G02F1/01 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 王晓玲 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，更具体地，涉及一种批量化高品质因子硫系悬空微盘制备方法。包括以下步骤：1)在无机衬底上旋涂聚合物电子胶，并通过曝光和显影技术沿垂直衬底方向制备出圆柱状结构；2)在电子胶上沉积一层硫系薄膜，以圆柱形为中心，进行图案化并刻蚀出盘状结构；3)通过除胶剂去除聚合物电子胶，获得悬空微盘结构；4)对微盘结构进行热回流提升品质因子。本发明采用电子胶作为“过渡衬底”，作为微盘的反模板结构和支撑物，方便去除，避免了传统制备方法中在氧化硅衬底上需要浸泡氢氟酸的问题，也解决了氢氟酸浸泡时间长导致微盘塌陷的现象，环保高效，适合批量化悬空微盘制备，同时适用于多种材料的悬空微盘制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 批量 品质 因子 悬空 制备 方法 | ||
【主权项】：
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