[发明专利]可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法在审
| 申请号： | 201911136716.3 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110794654A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 戚胜利;王健;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏上达电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11589 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐家升 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法，涉及PCS曝光技术领域。该可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法，包括以下步骤：S1、将玻璃底片1、玻璃底片2、玻璃底片3、玻璃底片4......等按照设计顺序依次排列在曝光机中可转动履带式金属框架中，曝光时玻璃底片1位于UV光源正下方；S2、卷带式基材从玻璃底片下方通过，先进行玻璃底片1的曝光作业；S3、玻璃底片1曝光完成后，卷带式基材按照设定尺寸进行搬送，同时驱动轮转动带动履带式框架转动至玻璃底片2位于UV光源下方。本发明，通过在玻璃底片上设计对位标记提高连接位置的对位精度，提高曝光对位良率的同时有利于产品线路向精细化发展。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃底片 曝光 曝光机结构 尺寸产品 卷带式 基材 履带式金属 对位标记 框架转动 连接位置 曝光对位 曝光技术 依次排列 精细化 可转动 履带式 曝光机 轮转 对位 良率 驱动 生产 | ||
【主权项】：
1.可生产超长尺寸产品的新型曝光机结构曝光方法，其特征在于：包括以下步骤：/nS1、将玻璃底片1、玻璃底片2、玻璃底片3、玻璃底片4......等按照设计顺序依次排列在曝光机中可转动履带式金属框架中，曝光时玻璃底片1位于UV光源正下方；/nS2、卷带式基材从玻璃底片下方通过，先进行玻璃底片1的曝光作业；/nS3、玻璃底片1曝光完成后，卷带式基材按照设定尺寸进行搬送，同时驱动轮转动带动履带式框架转动至玻璃底片2位于UV光源下方；/nS4、再进行玻璃底片2的曝光作业，如此循环完成玻璃底片3、玻璃底片4......的曝光，如此即可完成整个超长单PCS产品的连续曝光作业。/n
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