[发明专利]可移动式快速高真空抽气系统

摘要

本发明属于真空密封技术，具体涉及一种可移动式快速高真空抽气系统，包括真空室，以及与真空室连接的分子泵上，还包括机械泵，所述的机械泵与所述的真空室的侧面抽气管道通过波纹管连接，所述的真空室顶部设有连接管路；所述的侧面抽气管道上设有真空室隔离阀门，所述的真空室的顶部设有真空室放气阀。为了满足快速高真空条件，设计安装了包括机械泵、波纹管、分子泵及管道控制阀门在内的真空系统；在真空室及抽气管道设置有阀门机构，包括放气阀、粗抽阀和真空室隔离阀，可以分别实现真空室的充气、预抽气和协同抽气功能。