[发明专利]一种垂向交接装置及光刻系统在审
| 申请号： | 201911137478.8 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112904676A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 徐腾肖;朱正平;姜杰;李冰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻技术领域，具体公开了一种垂向交接装置及光刻系统。垂向交接装置包括基座，其上设置有垂向导向件；驱动电机，其设置在所述基座上；曲柄滑块机构，其包括曲柄及滑块，所述驱动电机的输出轴与所述曲柄连接，所述滑块与所述垂向导向件滑动连接，且所述曲柄的转动能带动所述滑块相对所述垂向导向件竖直升降；吸盘，其与所述滑块的上端连接。光刻系统包括上述的垂向交接装置。本发明提供的垂向交接装置及光刻系统，能够简化垂向交接装置及光刻系统的结构，降低垂向交接装置的成本，减小垂向交接装置的占地空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交接 装置 光刻 系统 | ||
【主权项】：
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