[发明专利]用于镀膜室的屏蔽门在审
| 申请号： | 201911138286.9 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112824557A | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 唐洪波;黄乐;孙桂红;黄国兴;祝海生 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了用于镀膜室的屏蔽门，所述屏蔽门用于镀膜生产线，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，所述箱体内设有空腔，所述屏蔽门包括箱体上设有门结构，多个箱体通过门结构的打开实现多个箱体内的空腔的连通，以供待镀膜的基片在所述连通的空腔内运行，通过门结构的关闭实现各个箱体的关闭和独立。本发明多个箱体上的门结构形成所述镀膜生产线的屏蔽，使多个箱体彼此独立或连通，且各个箱体内的真空度沿着待镀膜的基片的运行方向先增大再减小，使箱体壁两侧的压差均匀，降低了对箱体壁材料的要求，提高了所述镀膜生产线运行的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 镀膜 屏蔽门 | ||
【主权项】：
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