[发明专利]一种可同时检测湿度、温度和流量的多功能气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911142623.1 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111157039B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 奚亚男;胡淑锦 | 申请（专利权）人： | 广州钰芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 广州帮专高智知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44674 | 代理人： | 颜德昊 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可同时检测湿度、温度和流量的多功能气体传感器及其制备方法。本发明在单层传感器芯片两侧分别制备氧化石墨烯湿度传感器和微型加热器，并将微型加热器用于温度、流量检测。传感器针对湿度检测在室温下具有超高的灵敏度，快速的响应时间，宽广的检测范围和良好的重复性。传感器的微型加热器可分别用作冷态和热态的温度和流量传感器，具体可在26‑113℃的范围内进行精确的温度测量，并且可通过修改施加在微型加热器上的电压调整检测灵敏度。本发明制备的多功能气体传感器可用于人体检测，如口鼻呼吸等，具体可应用于物联网、环境监测、医疗保健等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同时 检测 湿度 温度 流量 多功能 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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