[发明专利]倒装LED芯片及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201911143705.8 申请日: 2019-11-20
公开(公告)号: CN110931619A 公开(公告)日: 2020-03-27
发明(设计)人: 张晓平 申请(专利权)人: 厦门士兰明镓化合物半导体有限公司
主分类号: H01L33/44 分类号: H01L33/44;H01L33/46
代理公司: 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 代理人: 蔡纯;岳丹丹
地址: 361012 福建省厦门市中国(福建)自由贸易试*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 公开了一种倒装LED芯片,包括:衬底;位于衬底表面上的外延层,外延层包括由下向上依次设置的第一半导体层、发光层和第二半导体层,PN台阶,位于外延层中,其上台阶面为第二半导体层,下台阶面为第一半导体层,上台阶面和下台阶面连接形成PN台阶侧面;第一绝缘层,覆盖PN台阶侧面、部分上台阶面和下台阶面;反射镜层,位于第二半导体层上。本发明还提供倒装LED芯片的制造方法,在形成PN台阶后立即在PN台阶侧面上覆盖绝缘层保护PN台阶,避免漏电、ESD性能低等异常现象,提高倒装LED芯片的电性良率。
搜索关键词: 倒装 led 芯片 及其 制造 方法
【主权项】:
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