[发明专利]晶圆重定位方法及其系统有效
| 申请号： | 201911146167.8 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110927549B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 马勇;彭良宝;张伟;门洪达 | 申请（专利权）人： | 广西天微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01B11/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 石慧 |
| 地址： | 542800 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆重定位方法，包括获取校准晶圆的第一标记晶粒的坐标和图像校准数据；根据所述校准数据，获取测试晶圆的第一近心焊盘的第一坐标信息；基于所述第一坐标信息，建立测试MAP图坐标系；根据所述校准数据、第一坐标信息和重定位晶圆的第二圆心的坐标，获取重定位晶圆的第二近心焊盘的第二坐标信息；基于所述第二坐标信息，建立重定位MAP图坐标系。本发明通过坐标和图像的双重对准，快速准确地识别标记晶粒、近心焊盘等目标点，进而保证了晶圆实物和MAP坐标系之间的精准对应关系，该精准对应关系进一步提高了晶圆重定位时对准的精确度，从而实现了一种效率高、可靠性好的全自动重新定位对准的晶圆重定位方法及其系统。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆重 定位 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
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