[发明专利]一种高性能窄带滤光薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201911146648.9 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110983253B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 姜玉刚;刘华松;陈丹;王利栓;何家欢 | 申请（专利权）人： | 天津津航技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/08;C23C14/46;C23C14/54;G02B5/28 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 王雪芬 |
| 地址： | 300308 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高性能窄带滤光薄膜的制备方法，属于技术领域。本发明提供一种高性能窄带滤光薄膜的制备方法，将制备滤光薄膜的透过率曲线与相近的理论曲线进行对比分析，通过对滤光薄膜的间隔层沉积时间进行修正，实现高性能窄带滤光薄膜的制备。本发明对于不同工作波长不同带宽的窄带滤光薄膜的制备具有普适性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 窄带 滤光 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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