[发明专利]掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201911147901.2 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110724906B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王亚玲;刘亚伟;宋平;肖志慧;单为健;杨志业 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板及其制作方法。掩膜板包括掩膜区，包括多个开口；夹持区，位于所述掩膜区两侧；过渡区，位于所述夹持区与所述掩膜区之间；其中，所述夹持区的厚度大于所述掩膜区的厚度，所述过渡区的厚度自所述夹持区向所述掩膜区趋于减小。本发明提供的掩膜板及掩膜板制作方法，在掩膜板的掩膜区减薄的同时，增加了夹持区的固定能力，且避免了在掩膜板拉平焊接时产生褶皱，整体提高了掩膜板的蒸镀精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：/n掩膜区，包括多个开口；/n夹持区，位于所述掩膜区两侧；及/n过渡区，位于所述夹持区与所述掩膜区之间；/n其中，所述夹持区的厚度大于所述掩膜区的厚度，所述过渡区的厚度自所述夹持区向所述掩膜区趋于减小。/n
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