[发明专利]一种三步硫化工艺制备铜锌锡硫薄膜吸收层的方法

摘要

本发明公开了一种三步硫化工艺制备铜锌锡硫薄膜吸收层的方法，属于高质量铜锌锡硫薄膜吸收层制备技术领域，其特征在于，包括如下步骤：S1、在真空退火炉中，放置热舟，在舟上方放置前驱体膜，热舟中放置5g硫粉，抽真空到10‑3Pa后，对热舟进行快速加热，使其20秒到达800℃，而前驱体膜不加热，膜温度低于50℃，保持10分钟，使得硫原子能够均匀扩散到前驱体膜中；S2、将前驱体膜取出放入管式炉中，通入氩气，使得气压保持在1.2个大气压，加热管式炉到540℃‑580℃，保持10分钟，降温；S3、将管式炉气压降至1个大气压，温度保持在250℃‑300℃，保持10分钟，去除残留的硫，然后降至室温。