[发明专利]基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备有效
| 申请号： | 201911153179.3 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110849593B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 方超;沙巍;王智;李钰鹏;于涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 宁晓丹 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备涉及光学检验测量技术领域，解决了现有装调难度和成本较高、测量精度低的问题，该装置包括第一激光器、光纤分束器、第一光纤声光调制器、第二光纤声光调制器、第一光纤准直器、第二光纤准直器、第一分束器、第一合束器、点探测器、第一偏振调节系统、第二合束器、第二分束器、第二偏振调节系统、第一面阵探测器；待测光学系统设置在第一偏振调节系统内。本发明利用光纤分束器、第一光纤声光调制器和第二光纤声光调制器，实现装调成本低，装调精度高、克服单声光调制器基频过高的问题、克服了单声光调制器本身引入的测量误差，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 声光 调制器 外差 干涉 测量 光学系统 波像差 设备 | ||
【主权项】：
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