[发明专利]一种具有声管的MEMS压电超声换能器有效
| 申请号： | 201911154366.3 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN111314829B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;吴志鹏;王磊;朱伟;胡博豪;林炳辉;占惠花 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 彭艳君 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于MEMS超声换能器技术，具体涉及一种具有声管的MEMS压电超声换能器，包括MEMS压电超声换能器和内部为腔体结构的硅衬底形成的至少1个声管，每个声管包括至少3个声波导管，且CSOI晶片上沉积压电叠层后通过刻蚀和底部打磨形成的第一声波导管、第三声波导管与Si晶片上通过刻蚀形成的第二声波导管键合。声管可以将MEMS压电超声换能器背部产生的声波传导至MEMS压电超声换能器顶部，由于声管的扩音作用，从声管传出的声波得以增强。同时，由声管传出的MEMS压电超声换能器背部产生的声波可以与顶部产生的声波叠加传输，进一步增强超声换能器产生的声波强度。该换能器能够增强MEMS超声换能器产生的声波强度，提升MEMS压电超声换能器能量转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有声 mems 压电 超声 换能器 | ||
【主权项】：
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