[发明专利]一种晶圆覆膜装置有效
| 申请号： | 201911156807.3 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110744910B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 林涛;刘睿强;毛朝庆;马岗强;杨毓军;周青呈;李志贵;王明元;方猛;邓玉青;赵文兵;王成银 | 申请（专利权）人： | 重庆电子工程职业学院 |
| 主分类号： | B32B37/00 | 分类号： | B32B37/00;B32B38/00 |
| 代理公司： | 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙) 50223 | 代理人： | 王玉芝 |
| 地址： | 401331 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆覆膜装置，所述夹持组件夹持晶圆，并带动晶圆在所述直行滑轨上靠近所述第一切割刀具，所述牵引伸缩杆朝向所述收纳架伸缩，并夹持所述收纳架内的覆膜，且带动覆膜朝向远离所述收纳架的方向移动，使覆膜位于所述牵引伸缩杆和所述收纳架之间被夹持，所述夹持组件带动晶圆与覆膜接触，所述环形滑轨驱动所述连接臂旋转，进而带动所述第一切割刀具沿晶圆的外周对覆膜进行切割，直至切割一周，使覆膜全部与晶圆贴合，如此对覆膜进行全机械化切割，切割精度更高，稳定性更好，进而使覆膜效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆覆膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆覆膜装置，其特征在于，包括操作基板、直行滑轨、第一切割刀具、夹持组件和覆膜组件；/n所述直行滑轨与所述操作基板固定连接，并位于所述操作基板的表面，所述第一切割刀具通过所述覆膜组件与所述操作基板转动连接，并位于所述操作基板靠近所述直行滑轨的一侧，所述夹持组件与所述直行滑轨滑动连接，并滑动方向朝向所述第一切割刀具的方向，且位于所述直行滑轨远离所述操作基板的一侧，所述覆膜组件与所述操作基板固定连接，并与所述直行滑轨抵接；/n所述覆膜组件包括收纳架、牵引伸缩杆和切割构件，所述收纳架与所述操作基板固定连接，并位于所述直行滑轨的一侧，朝向所述直行滑轨的方向，所述牵引伸缩杆与所述操作基板固定连接，并与所述收纳架抵接，且位于所述直行滑轨远离所述收纳架的一侧，所述切割构件与所述操作基板固定连接，并与所述第一切割刀具转动连接，且位于所述收纳架和所述牵引伸缩杆之间；/n所述切割构件包括环形滑轨、连接臂，所述环形滑轨与所述操作基板固定连接，并位于所述直行滑轨的外周，且位于所述收纳架和所述牵引伸缩杆之间，所述连接臂与所述环形滑轨滑动连接，并与所述第一切割刀具固定连接，且位于所述环形滑轨靠近所述收纳架的一侧。/n
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