[发明专利]一种微细线路的修复方法有效
| 申请号： | 201911157684.5 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110798990B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张昱;崔成强;陈梓源 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H05K3/22 | 分类号： | H05K3/22 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 梁永健;单蕴倩 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种微细线路的修复方法，包括依次连通的火花烧蚀装置、微细线路修复装置、真空泵组成的制备系统；微细线路修复装置包括真空箱、储存腔、喷嘴、线路板装载加热台和第一支架；火花烧蚀装置的出口端通过气体输出管与真空箱连通，气体输出管的出口端安装有储存腔，储存腔的喷嘴位于所述真空箱内；火花烧蚀装置的进口端连通有气体输入管；包括以下步骤：步骤一，使用火花烧蚀装置制备微纳金属粉；步骤二，往制备系统通入惰性气体，惰性气体依次经过火花烧蚀装置、微细线路修复装置，微纳金属粉随惰性气体通入微细线路修复装置；步骤三，火花烧蚀装置制备的微纳金属粉随惰性气体进入微细线路修复装置。本修复方法使微细线路的修复工作变得简单、方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微细 线路 修复 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微细线路的修复方法，其特征在于，包括依次连通的火花烧蚀装置、微细线路修复装置、真空泵组成的制备系统；/n所述微细线路修复装置包括真空箱、储存腔、喷嘴、线路板装载加热台和第一支架；/n所述火花烧蚀装置的出口端通过气体输出管与所述真空箱连通，所述气体输出管的出口端安装有储存腔，所述储存腔的喷嘴位于所述真空箱内；/n所述火花烧蚀装置的进口端连通有气体输入管，所述气体输入管安装有第一阀门，所述气体输出管安装有第二阀门；/n所述线路板装载加热台通过第一支架架设于所述真空箱内；/n包括以下步骤：/n步骤一，使用火花烧蚀装置制备微纳金属粉；/n步骤二，往制备系统通入惰性气体，惰性气体依次经过火花烧蚀装置、微细线路修复装置，微纳金属粉随惰性气体通入微细线路修复装置；/n步骤三，火花烧蚀装置制备的微纳金属粉随惰性气体进入微细线路修复装置；/n步骤四，真空泵控制腔体内的压力大小，从而调节气流大小，使微纳金属粉通过喷嘴直接沉积在待修复线路上；/n步骤五，通过微细线路修复装置的加热装置，加热线路板，使待修复线路上的微纳金属粉烧结，完成线路修复。/n
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