[发明专利]一种多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法在审
申请号: | 201911159836.5 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN110966957A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 陈磊;王云涛;孔璐;杨光;郑东晖;胡晨辉;王冲;吴志飞;陈佳;张正宇;崔鑫莹;马致遥;黄晨;马海颖 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/16 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 薛云燕 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法。步骤为:有3个球面镜头,分别为A、B、C;球面B作为参考面,球面A作为测试面,进行一次干涉测量;球面B作为参考面,球面A逆时针绕轴旋转90度后作为测试面,进行一次干涉测量;球面C作为参考面,球面A保持第一次测量时的位置作为测试面,进行一次干涉测量;球面C作为参考面,球面B作为测试面,进行一次干涉测量;综合测量结果,利用奇偶函数分解和Fourier级数选频方法,分解得到球面A、B、C的奇偶函数各项并得到球面A、B、C各自的绝对面形分布。本发明测量次数少、简单易行、精确高效,测量结果能够尽可能保证各自面形在所有频率的信息。 | ||
搜索关键词: | 一种 球面 标准 镜头 同步 测量 绝对 检验 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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