[发明专利]一种行星转动装置及能实现大批量生产的镀膜设备有效
| 申请号： | 201911161603.9 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN110846634B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 柳存定;黎明;郭丽娜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种行星转动装置及能实现大批量生产的镀膜设备，其中，所述行星转动装置包括多个工件吊盘和第一传动机构，各工件吊盘分别与所述第一传动机构相连，所述第一传动机构用于驱动各工件吊盘同步自转。本发明所提供的行星转动装置，结构紧凑，各工件吊盘同步自转和公转，从而有效优化球面光学元件表面膜层均匀性，镀制的球面光学元件表面薄膜呈中心对称分布；多个工件吊盘，可以同时镀制多个球面光学元件镜坯，有效提高镀膜效率。所述的行星转动装置及镀膜设备尤其适用于小口径球面元件大批量、高薄膜厚度均匀性分布的镀膜领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行星 转动 装置 实现 大批量 生产 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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