[发明专利]一种籽晶生长装置在审
| 申请号： | 201911161658.X | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN111074347A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 匡怡君 | 申请（专利权）人： | 浙江大晶磊半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00;C30B25/02 |
| 代理公司： | 北京市海问律师事务所 11792 | 代理人： | 陈吉云;张占江 |
| 地址： | 313009 浙江省湖州市南浔*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种籽晶生长装置，所述装置包括外坩埚、内坩埚和坩埚盖，所述内坩埚呈顶部开口结构，所述内坩埚包括拉杆，所述拉杆垂直固定于所述内坩埚的底部中心处；所述坩埚盖的下表面中心包括小孔；所述拉杆与所述小孔活动连接；所述坩埚盖盖合于所述外坩埚的顶部开口处，使得所述内坩埚位于所述外坩埚的内部空间，所述内坩埚的外壁与所述外坩埚的内壁、所述坩埚盖的下表面不触碰；所述外坩埚底部中心包括圆柱形籽晶平台，用于固定籽晶。本发明提供的坩埚可以避免因晶体逆向生长所导致粘接不均匀以及晶体内应力增加的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 生长 装置 | ||
【主权项】：
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