[发明专利]一种籽晶的处理方法及其装置在审
| 申请号： | 201911161732.8 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN111379026A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 匡怡君 | 申请（专利权）人： | 上海联兴商务咨询中心 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京市海问律师事务所 11792 | 代理人： | 陈吉云;张占江 |
| 地址： | 201499 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种籽晶的处理方法和装置，其通过在一圆盘状的石墨盘片中心处设置凹槽，用来固定籽晶，并使籽晶的下表面(非生长面)紧贴石墨盘片的多孔凹槽，采用PVT法升华原料，使升华的气体通过多孔，然后通过调节温度、压力以及处理时间，在籽晶的下表面(非生长面)与石墨盘片之间生长一层很薄的致密碳化硅层，从而起到籽晶与石墨盘片粘接的作用。本发明提供籽晶处理方法和装置可以做到批量处理籽晶的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 处理 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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