[发明专利]用于半导体生产中的筛选机及其筛选方法有效
| 申请号： | 201911164511.6 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111014020B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 王振国 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B07B1/34 | 分类号： | B07B1/34;B07B1/42;B07B1/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于半导体生产中的筛选机及其筛选方法,包括基板、底座以及设于底座上的筛选机构，所述基板水平设置，基板的底面固定若干根支撑柱，所述底座固定在基板的顶面一侧，底座为顶端敞口的箱式结构，底座内设有振动机构,所述筛选机构包括筛选盒以及分料盒，所述筛选盒为活动设在底座内的矩形盒，筛选盒的底部与所述振动机构连接，筛选盒内倾斜设有至少两块可转动的筛板，筛板的底端与筛选盒内壁接触，所述筛板上均布有用于筛选产品的筛选孔，位于上方的筛板的筛选孔直径大于位于下方的筛板的筛选孔直径，且筛选盒的侧壁上设有投料管。本发明能够对半导体晶粒进行分级筛选，筛选后的产品分别储存，筛选精度可调。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 生产 中的 筛选 及其 方法 | ||
【主权项】：
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