[发明专利]使用电子显微镜对样品成像的方法在审
| 申请号： | 201911165127.8 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111223734A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | E.M.弗兰肯;R.肖恩马克思;B.J.詹森;M.弗海延;H.科尔;Y.邓;A.福格特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;G01N23/2251;G01N23/046 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用所述电子束照射所述样品的光学元件。所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品。所述方法包括以下步骤：通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，且在获取所述图像期间同时改变所述样品的位置，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的独特位置获取每个图像。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 电子显微镜 样品 成像 方法 | ||
【主权项】：
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