[发明专利]缺陷检测方法和装置、存储介质在审

专利信息
申请号: 201911165457.7 申请日: 2019-11-25
公开(公告)号: CN111007086A 公开(公告)日: 2020-04-14
发明(设计)人: 胡婷平 申请(专利权)人: 合肥维信诺科技有限公司
主分类号: G01N21/956 分类号: G01N21/956;G06T7/00;G06T7/11
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 娜拉
地址: 230037 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种缺陷检测方法和装置、存储介质。该方法通过获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像;获取第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息;根据第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息,确定第i个灰度图像中缺陷的缺陷类型;根据第1个灰度图像中缺陷对应的缺陷类型至第N个灰度图像中缺陷对应的缺陷类型,得到待测电子器件的缺陷汇总结果。根据本发明实施例,能够提高缺陷类型判断的准确性。
搜索关键词: 缺陷 检测 方法 装置 存储 介质
【主权项】:
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