[发明专利]一种体声波谐振器的制备方法在审
| 申请号： | 201911166647.0 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111030628A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 于洪宇;王亮;张一;汪青;唐楚滢 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种体声波谐振器的制备方法，该方法包括：提供压电衬底，在压电衬底上进行离子注入形成具有缺陷层连接的第一衬底和第二衬底；在第一衬底上形成金属电极，并图形化金属电极形成底部电极；将具有底部电极的压电衬底一表面键合到带有预置空腔的支撑衬底上，底部电极均位于空腔内；剥离压电衬底的第二衬底；减薄第一衬底至所需厚度；于远离底部电极的第一衬底一面上形成顶部电极。克服了常规工艺中在形成底部空腔过程中对谐振器结构产生不良影响的问题和常规工艺中金属与支撑衬底键合困难的问题，降低工艺容错度，减少工艺步骤和工艺成本，保证器件工作特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 谐振器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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